碳化硅机器设备

半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解；知乎专栏

2024年2月18日从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发展,设备需求迎来了机遇期。一、SiC 单晶生长设备 SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

2023年4月26日 1）碳化硅切割设备方面：国内首款高线速碳化硅金刚线切片机 GCSCDW6500可获得和砂浆切割相同的晶片质量，同时大幅提升切割效率，显著降低生产成本，行业内独家实现批量销售，实现国产替代，同时公司已推出适用于 8 寸碳化硅衬底切割的碳化硅金刚线

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

4 天之前 1）碳化硅切割设备：国内首个高线速碳化硅金刚线切片机GCSCDW6500能切出和砂浆切割一样的晶片质量，切割效率大大提高，生产成本明显降低，在行业里独家实现批量售卖，达成国产替代，公司还推出了能切割8寸碳化硅衬底的碳化硅金刚线切片机。 2）金刚线

多达数十家，SiC关键设备企业图谱知乎

2024年2月18日碳化硅（SiC）具有高频、高效、高功率密度、耐高温、高压的性能特点，主要应用于新能源汽车、轨道交通、光伏发电和工业电源领域。以新能源汽车为例，当下采用Si IGBT技术的功率模块仍在新能源汽车中占据主导地位，但硅基功率器件经过数十年的发展已经接近材料极限，性能上很难更进一步。相较之下，碳化硅替代硅应用于新能源汽车，可大幅提升汽车的

2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇艾邦

2023年11月30日国内企业上机数控此前表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河，在国产碳化硅切片机市场占有率超90%。

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

2022年12月15日中电科48所陆续开发出碳化硅外延设备、高温高能离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉，并持续研发第二代、第三代机型，截至目前，其碳化硅设备已在生产线应用/签订合同百余台套。

碳化硅设备进展如何？晶盛机电等4家企业回应电子工程

2023年5月10日其中，碳化硅设备作为碳化硅产业链中的重要一环，也正在飞速发展。近日，多家企业宣布在碳化硅设备领域获得新进展。晶盛机电： 6英寸双片式SiC外延设备

碳化硅设备行业深度报告： S i C 东风已来，关注衬底与外延

2023年9月14日碳化硅(SiC)具有更高热导率、高击穿场强等优点,适用于制作高温、高频、高功率器件,新能源汽车是未来第一大应用市场,2027年新能源汽车导电型SiC 功率器件市场规模有望达50 亿美元,占比高达79% ,全球已有多家车企的多款车型使用SiC,例如特斯拉、蔚来、比亚迪等,SiC 迎来上车导入期。 SiC 产业链70%价值量集中在衬底和外延环节,其中衬底、外延成本分别占整

国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备模拟

2023年4月25日在工艺设备方面，主要涉及清洗机、***、刻蚀设备、LPCVD、蒸镀等常规设备以及高温高能离子注入机、高温退火炉、高温氧化炉等特殊专用设备。 241 SiC高温高能离子注入机

碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关

2023年9月27日其中晶盛机电6寸单片式碳化硅外延设备（型号为150A，产能350400片）已实现国产替代，22年公司外延设备市占率居国内前列。23年6月公司又成功研发8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国产替代。（2）外延产能布局国外双寡头垄断全球市场，CR2超90

半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解；知乎专栏

2024年2月18日从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发展,设备需求迎来了机遇期。一、SiC 单晶生长设备 SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速

2023年4月26日 1）碳化硅切割设备方面：国内首款高线速碳化硅金刚线切片机 GCSCDW6500可获得和砂浆切割相同的晶片质量，同时大幅提升切割效率，显著降低生产成本，行业内独家实现批量销售，实现国产替代，同时公司已推出适用于 8 寸碳化硅衬底切割的碳化硅金刚线

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2024年2月18日碳化硅（SiC）具有高频、高效、高功率密度、耐高温、高压的性能特点，主要应用于新能源汽车、轨道交通、光伏发电和工业电源领域。以新能源汽车为例，当下采用Si IGBT技术的功率模块仍在新能源汽车中占据主导地位，但硅基功率器件经过数十年的发展已经接近材料极限，性能上很难更进一步。相较之下，碳化硅替代硅应用于新能源汽车，可大幅提升汽车的

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2022年12月15日中电科48所陆续开发出碳化硅外延设备、高温高能离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉，并持续研发第二代、第三代机型，截至目前，其碳化硅设备已在生产线应用/签订合同百余台套。

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2023年9月14日碳化硅(SiC)具有更高热导率、高击穿场强等优点,适用于制作高温、高频、高功率器件,新能源汽车是未来第一大应用市场,2027年新能源汽车导电型SiC 功率器件市场规模有望达50 亿美元,占比高达79% ,全球已有多家车企的多款车型使用SiC,例如特斯拉、蔚来、比亚迪等,SiC 迎来上车导入期。 SiC 产业链70%价值量集中在衬底和外延环节,其中衬底、外延成本分别占整

国内外碳化硅装备发展状况 SiC产业环节及关键装备模拟

2023年4月25日在工艺设备方面，主要涉及清洗机、***、刻蚀设备、LPCVD、蒸镀等常规设备以及高温高能离子注入机、高温退火炉、高温氧化炉等特殊专用设备。 241 SiC高温高能离子注入机

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2024年2月18日从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发展,设备需求迎来了机遇期。一、SiC 单晶生长设备 SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低

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2023年11月30日国内企业上机数控此前表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河，在国产碳化硅切片机市场占有率超90%。

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